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期刊浅沟槽光电探测器
《电子测量技术》2006年第4期24-25,39,共3页陈瑞鹏 毛陆虹 宋瑞良 
提出一种新型光电探测器,采用浅沟槽隔离工艺,在光电探测器基础上制作而成。通过使用Silvaco公司的器件模拟软件Atlas进行器件模拟,分析了浅沟槽对探测器关键参数的影响,包括响应度和响应速度。结果表明,浅沟槽光电探测器具有良好...显示全部
关键词:光电探测器 浅沟槽隔离 器件模拟 响应度 
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